高純氬氣的作用及特點

　　高純氬氣無色無味無毒氣體。化學性質極不活潑，未形成任何化合物。相對密度ds(21.1℃)1.38。氣體密度1.650kg/m3(21.1℃);液體密度1394.0kg/m3(-185.9℃)。沸點-185.9℃。熔點-189.2℃。采用空氣分離提氬，即將液化的空氣進行精餾，得到粗氬。抽出粗氬，經進一步提純可得到高純氬。

　　高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體;可用作系統清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體;在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬氣也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管;焊接保護氣;在鈦、鈷和其他活性金屬的生產中用作屏蔽氣;在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。

　　在金屬冶煉方面，氧、氬吹煉是生產優質鋼的重要措施，每煉1t鋼的氬氣消耗量為1～3m3。此外，對鈦、鋯、鍺等特殊金屬的冶煉，以及電子工業中也需要用高純氬氣作保護氣。

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